针对功率半导体器件特性分析与测试；最大电压范围：3000 V，最大电流范围20A，最小电压分辨率0.2μV，最小电流分辨率10fA；电容可加高压偏置电压至3000V，频率范围1KHz-5MHz；具有脉冲测试功能；具备示波图示功能和自动记录数据功能；有GPIB、网络端口；未来可升级到10kV及大电流、电流崩塌动态参数测试。
功率半导体器件测试设备。手动高压探针台，支持6英寸及以下尺寸晶圆、芯片及单器件进行IV/CV测量，承受电压≥3KV, 电流≥20A；支持频率范围：1 KHz~5 MHz,频率分辨率：1mHz；显微镜综合放大倍率达400倍；配置两套高流探针臂，两套高压探针臂，两套同轴探针臂，两套同轴电缆，两根高压三轴电缆。
