e-LINE Plus是一款高性能电子束曝光（EBL）系统，它能同时应用多种纳米加工技术。它拥有世界上专业EBL系统中最小直径的电子束束斑（< 1.6nm），最小加工线宽可达8 nm。E-LINE Plus使用包括高精度激光干涉样品台、高速高精度图形发生器、图形识别自动套刻等先进的电子束曝光技术，能够同时满足超高分辨率和大面积图形的微纳加工要求。
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