一、仪器介绍

仪器型号：SU3800

生产厂商：株式会社日立高新技术

二、主要功能

扫描电镜（Scanning Electron Microscope, SEM）利用聚焦的电子束扫描样品表面，通过检测电子与样品相互作用产生的各种信号（主要是二次电子和背散射电子）来获得高分辨率、高景深的表面形貌图像，直观、立体地揭示样品表面的精细形貌结构。

三、设备特色

1.优异低电压功能：日立SU3800采用最新的自动偏压技术和智能灯丝监控技术（IFT），使得灯丝发射电流有了显著提升，尤其是在低电压条件下。配合低球差物镜和优化的镜筒，可更好地观察样品表面形貌，也非常有利于易损伤或者易荷电样品的观察。

2.多探头成像能力：SU3800具有二次电子探测器、5分割高灵敏度背散射电子探测器、可变压力二次电子探测器（UVD）等多种探测器，既可以获得高分辨的形貌信息，也可以获得样品的成分、晶体去向、凹凸、阴影等信息，还可以获得阴极荧光等信息，SU3800的UVD还可以实现STEM*的功能，从而获得样品内部的形貌和结构信息。

3.卓越的低真空成像能力：对于一些导电性差的样品，在不镀金的情况下往往荷电严重，无法观察到理想形貌，低真空成像可以解决以上问题。SU3800的扩展可变压力真空范围为6-650Pa，高低真空之间可实现一键切换，无需重新安装压差光阑，节省时间，降低操作难度。

4.强大的扩展能力：SU3800还可以借助背散射探测器和Hitachi Map 3D软件实现样品的3D解析。通过背散射探测器不同区域的单独成像可以获得样品的高度信息，利用Hitachi Map 3D软件对这些图片重构后可以获得样品的3D形貌以及高度等信息。

四、技术参数

1.电子枪：预对中钨灯丝

2.二次电子探头分辨率：3.0nm @ 30KV

3.放大倍数： 5-300,000x（底片倍率），7-800,000x（显示倍率）

4.加速电压：0.3-30kV

5.样品台：移动范围：X=0-100mm，Y=0-50mm，Z=5-65mm，T=-20°-90°，R=360°

6.最大样品尺寸：直径200mm，高度80mm

7.低真空：6-650Pa，具有压差光阑，全范围下可以一键切换高低真空

8.探测器：具有二次电子探测器、5分割背散射电子探测器、可变压力探测器

9.具有相机导航功能，光镜和电镜图片可叠加

10.具有三维图像重建软件

11.临界点干燥仪（英国QUORUM K850）、磁控式离子溅射仪（日本VD MSP-1S）、冷冻干燥机（东京理化 FDM-1000）

五、样品制备

样品制备至关重要：生物样品通常含水、柔软、不导电且易受电子束损伤。标准的SEM观察需要的制样过程：化学固定（如戊二醛、锇酸）→脱水（乙醇或丙酮梯度）→干燥（临界点干燥或冷冻干燥是最佳选择，避免表面张力导致的塌陷）→导电处理（喷镀金、碳等薄层）。

六、咨询方式

联系人：王老师 0531-88382105

地点：趵突泉校区综合楼105