一、技术指标

1、独特的远端前置放大器，将SMU的分辨率扩展至 0.1fA

2、用于高级半导体测试的新型脉冲与脉冲式I-V功能

3、集成了示波与脉冲测量功能的新型示波卡

4、内置PC提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印、以及测试结果的大容量存储

5、内置Stress/Measure，循环和数据分析功能，通过鼠标点击方式就可进行可靠性测试

二、主要功能及应用领域

用于实验室级的器件直流参数测试、实时绘图与分析，具有高精度和亚fA级的分辨率。它提供了先进的系统集成能力，包括完整的嵌入式PC机，Windows操作系统与大容量存储器。其自动记录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程，可以更快地开始分析测试结果，满足各种可靠性测试的需求。

三、服务项目（测试项目）

1、测试半导体的I/V曲线

2、测试半导体薄膜、单晶器件的载流子迁移率

四、样品要求

半导体材料、单晶器件、光电器件等