一、技术指标

1、包含有高真空和低真空模式，一键切换。

2、放大倍数:＞200000倍。

3、可直接观察不导电样品，也可喷金获取更好的成像效果。

4、加速电压:不小于5 -15 kV连续可调。

5、分辨率:＜3 nm。

6、电子源:肖特基场发射电子源

7、探测器:配备背散射电子探测器，二次电子探测器，能谱探测器。

8、图像种类:背散射电子像，二次电子像。

9、自动图像调整功能:自动对比度/亮度、自动聚焦、自动定位。

10、样品台:移动范围:X轴＞20 mm、Y轴＞20 mm；

11、最大样品尺寸:＞20 mm（直径），最大样品厚度＞30 mm。

12、元素分析范围：5-95号元素

二、主要功能及应用领域

台式扫描电子显微镜可实现在高、低真空下工作，主要用于材料学中固态物质的表面超微结构的形态和组成表征。可对晶体生长过程的原位研究、催化过程研究、有机无机复合物薄膜材料等方向提供重要支持。同时，可为化学、生物、环境等多学科交叉研究提供重要表征手段。

三、服务项目（测试项目）

1、观测固态物质的表面超微结构，放大倍数200000倍。

2、固态物质的元素分析，元素分析范围：5-95号元素

四、样品要求

光学器件、微纳结构样品、薄膜材料等样品。