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微纳制备与加工
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电子束蒸发镀膜机
发布日期：2024-01-02 点击次数：

电子束蒸发镀膜机是半导体器件制备过程中必不可少的的设备之一。该设备采用电子束流熔化金属的方式，可蒸镀各类金属材料，制备半导体器件中金属电极部分。设备技术参数如下：电子枪参数：电子枪电压8kv/10kv；反应腔室参数：本底真空5×10-3Pa；加热温度：室温-600℃；样品要求：小于4英寸。


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