➢仪器名称：聚焦离子束系统

➢仪器品牌：Thermo Fisher Scientific

➢仪器型号：Helios 5 CX

➢仪器简介：

聚焦离子束系统（FIB）是在扫描电镜（SEM）的基础上，额外配备了离子束镜筒。除具有扫描电子显微镜(SEM)的常规成像功能外，利用（离子束镜筒）离子束轰击可在纳米尺度实现材料的刻蚀、沉积、注入等加工过程。该设备可广泛应用于金属材料、半导体材料、复合材料、陶瓷材料等的表面和截面观察。

➢主要功能：

截面观察。可以选择样品中特定感兴趣区域，通过离子束刻蚀暴露样品的截面，并进行SEM观察实现二次电子和背散射电子衬度分析，以获得样品内部（或深度）信息。

TEM透射电镜样品制备。可以选择样品中特定感兴趣区域，提取和制备一定尺寸的薄区，实现TEM透射电子显微镜观察。

➢送样要求：

块体或颗粒材料。样品要求无磁性、导电性良好（导电性不良的样品需预先做喷金或喷碳处理，以提高导电性）、热稳定性较好。

➢预约电话：

鲁老师 15964752716