院级公共技术平台
微纳制备与加工
当前位置： 首页 > 院级公共技术平台 > 集成电路学院 > 按技术方向 > 微纳制备与加工 > 正文
等离子体增强原子层沉积PEALD
发布日期：2022-03-15 22:09 点击次数：

适用于沉积几纳米厚的超薄膜，包括氧化铪，氧化硅，氧化铝，氧化镓等，有出色的均匀性、对3D 结构有非常好的覆盖一致性。


上一篇：划片机 下一篇：原子层沉积系统【ALD】

地址：山东济南山东大学中心校区明德楼B623

电话：（86）-0531-88369618

微信公众号

微信预约仪器

CopyRight © 2014 山东大学大型仪器公共技术平台. All Rights Reserved