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微纳制备与加工
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电子束蒸发镀膜系统
发布日期：2022-03-15 10:11 点击次数：

电子束蒸发是真空蒸镀的一种。电子束蒸发镀膜机可以蒸发高熔点材料，比一般热蒸发镀膜机的热效率高、束流密度大、蒸发速度快，制备的薄膜纯度高、质量好，薄膜的厚度可以较准确地控制。


1) 极限真空：2×10-7 mbar
2) 本底真空：小于8×10-6 Torr
3) 现有金属材料：Au、Ti、Pd、Pt、Cr、Ge、Ni


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