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微纳制备与加工
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脉冲激光沉积系统（PLD）
发布日期：2022-03-15 14:04 点击次数：

脉冲激光沉积 ，就是将激光聚焦于靶材上一个较小的面积，利用激光的高能量密度将部分靶材料蒸发甚至电离，使其能够脱离靶材而向基底运动，进而在基底上沉积，从而形成薄膜的一种方式。

样品尺寸：≤2英寸；激光能量：10mJ；激光频率：1-10Hz；沉积温度：室温-1000℃；反应氛围：氧气、氩气。

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